Diffuusiouuni, joka voisi suorittaa hapettumisprosessin, koostuu uunikehyksestä, lämmittimestä, lämmitysohjauslaitteesta, lämpötilan mittauslaitteesta, kvartsuuniputkesta, push-pull-kantolaitteesta, kaasupolusta ja pakokaasukäsittelylaitteesta. Tällaisten diffuusiouunien lämpötilanhallintavaatimukset ovat seuraavat:

Lämmityslämpötila	Ambient -1100 aste	Valvontatarkkuus	± 2 astetta
Maksimilämmitysnopeus	15 astetta /min	Väliaikaisen yhdenmukaisuus	± 0. 5 astetta /760 mm
Enimmäisjäähdytysnopeus	5 astetta /min	Vakaus	± 0. 5 astetta /24h

Hapetusdiffuusiouunissa käytetään yleensä lämpöparia uunin sisällä ja sen ulkopuolella lämpötilan dynaamisen ohjaamiseksi. Jokainen lämpötilavyöhyke on varustettu yhdellä sisä- ja yhdellä ulkopuolella lämpöpöydällä lämpötilan säätimen luotettavuuden varmistamiseksi. S-tyyppinen puolijohdetermoelementti (yleinen käytäntö hyödyntää monipistemuotoisia termoelementtejä, joissa on 3-9 erilaisia pisteitä tarttuakseen lämpötilatietoon), on usein valittu sisälämpömyrsky, jota käytetään suoraan pii-kiekon lämpötilan havaitsemiseksi ja voi kääntää tarkkaan kiekkojen lämpötilan näytölle.

Tuotteiden kuvaus

Duchinin instrumentti kehitti rakenteita monikohdan termoelementtien, monipistemuotoisten termoelementtien kalibrointilaitteiden kokeille, tyyppinen kylmäkäyttörakenne Formulti-Point -termoelmiossa, tyyppinen päätepakkausrakenne monipisteen lämpöpohjaiseen, yhdistelmämetallisuojausputkeen monipisteiden lämpötila-uunien lämpötila-uunien kanssa. S -tyypin puolijohde -termoelementin tekniset parametrit, jotka ovat erikoistuneet aurinkosähkölaitteille, ovat seuraavat:

Tekniset parametrit	Termoelementti
Tyyppi	S,R
Lanka tai MIMS -halkaisija	φ0.35~0.5
Työlämpötila (tutkinto)	0~1100
Tarkkuus (tutkinto)	±1.0
Suojaputken pituus (mm)	Alle tai yhtä suuri kuin 4000
Suojaputken halkaisija (mm)	φ12~18
Suojaputkimateriaali	Kvartsi
Kuumapään rakenne	Paljastunut
Pisteiden lukumäärä	3 ~ 6 pistettä
Irtisanominen	Pieni liitin
Korvausjohto	Sc {{0}} × 0,5fpf
Rakenteen ominaisuudet	T/C: n kokoaminen yhdessä jokaiselle pisteelle on melko vaikeaa